半導體廠廢水如何回收使用?－網路知識收集中心

廢水處理半導體廠廢水如何回收使用? 半導體廠廢水如何回收使用?1.那幾類可以回收?2.回收後再製成的水可以用在哪些用途?3.科學園區現行規定工廠回收比例為多少?4.回收再利用的每噸成本單價大約是多少錢?
如果是一般常見的半導體廠廢水有分不同的來源酸鹼廢水、有機廢水、CMP廢水及氟系廢水、重金屬廢水(部分工廠)其中以酸鹼、CMP及氟系廢水的水量較大一般如果要回收的話應該會較傾向回收酸鹼及CMP系的廢水回收還分為回收至製程端、純水或是冷卻水目前都以回收至冷卻水為最常見的方式(因為廢水成份複雜，廠方也不敢貿然回收至製程或純水端使用)目前規定全廠回用的比例應該是70%(有點忘記，不過應該與正確值不會差異很大)廠方回收製程所使用的單元主要是薄膜設備所以每噸成本單價應該是在20~40元左右現在半導體廠回收製程用水主要只是為了符合前面提到的整廠『水回收率』並沒有考量要回收至製程使用(以後也不會)(個人意見：水一噸了不起才13元，晶圓一片就值好幾百萬了，不會有人笨到想省水費的)希望上面有解答你的問題如果是要做報告或論文可以先看看全國博碩士論文網內找找(http://datas.ncl.edu.tw/theabs/1/)相關論文(以竹科、水回收的關鍵字來找) 參考資料自己
1.要看半導體廢水內有哪些金屬可以回收,要先調查廢水的性質,以便針對有利用價值的化學物質作回收2.回收後的水可以進行再利用3.現在科學園區大都統一進流到同一廢水場進行處理,至於比例則沒規定4.要看回收的的廢水可以提煉出多少的有價物質
目前(2009年)的廢水回收技術已經達到一定水準了, 回收的水質已經可以依照客戶的要求達到一定的水質,這些回收水是可以再度進入製程使用.廢水回收率也可以高達90%以上.http://www.yuankai.com.tw

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廢水處理
參考資料:http://tw.knowledge.yahoo.com/question/question?qid=1205071504584
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